泛林集团价格

Lam Research Corporation 是半导体加工设备的重要供应商，涵盖其设计、生产、销售、维修和持续维护。这些复杂的系统对于集成电路的制造至关重要。公司的产品目录丰富，涵盖多种沉积技术。对于钨金属化，他们提供ALTUS系统，用于沉积符合性薄膜。SABRE产品在电化学沉积方面表现出色，关键用于铜互连过渡和实现铜金镶嵌制造。SOLA采用紫外线热处理技术进行薄膜处理，而VECTOR提供等离子增强化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）解决方案。此外，SPEED通过其高密度等离子体CVD产品解决间隙填充应用，Striker则专为单晶片原子层沉积绝缘膜设计。除了沉积技术，Lam Research还提供一系列全面的刻蚀工具。Flex用于绝缘材料刻蚀，Kiyo负责导体刻蚀，Syndion专注于硅通孔刻蚀，Versys金属产品用于金属刻蚀工艺。公司的产品还包括如Coronus的专用解决方案，通过倒角清洗提高芯片良率。针对各种晶圆清洗需求，Lam Research提供多个产品系列，包括Da Vinci、DV-Prime、EOS和SP系列。此外，Metryx质量计量系统提供精确的在线晶圆质量测量能力，用于半导体晶圆制造。Lam Research 服务于全球半导体行业，将其技术和服务推广到美国、中国、欧洲、日本、韩国、东南亚、台湾及其他国际市场。公司成立于1980年，总部位于加利福尼亚州弗里蒙特。